目前,國內半導體晶圓擴散設備用純度為99.999~99.9999%的碳化硅懸臂槳、爐管及舟完全依賴進口,全款訂貨需要24-36個月的交付周期,隨著 國 家對半導體行業自主可控戰略的實施,尋求國產替代已迫在眉睫。
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